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硅压阻式MEMS振动传感器

2023-05-20 15:31:04
硅压阻式MEMS振动传感器
详细介绍:

硅压阻式MEMS振动传感器

硅压阻式MEMS振动传感器

MEMS加速度计是MEMS领域较早开始研究的力传感器之一。经过多年的发展,MEMS加速度传感器的设计和加工技术已经日趋成熟。根据敏感机理不同,MEMS加速度传感器可以分为压阻式、热流式、谐振式和电容式等。压阻式MEMS加速度传感器容易受到压阻材料影响,温度效应严重、灵敏度低,横向灵敏度大,精度不高。热流式加速度计受传热介质本身的特性限制,器件频率响应慢、线性度差、容易受外界温度影响。因此,热流式和压阻式加速度计主要用于对精度要求不高的民用领域或军事领域中的高值测量。谐振式微加速度计理论上可以达到导航级的精度,但目前技术状态还达不到实用化。而电容式硅微加速度计由于精度较高、技术成熟、且环境适应性强,是目前技术较为成熟、应用较为广泛的MEMS加速度计。随着MEMS加工能力提升和ASIC电路检测能力提高,电容式MEMS加速度传感器的精度也在不断提升。

MEMS惯性传感器的研究成果对于物体的制导、导航,各类型交通工具的自动驾驶以及各种智能穿戴设备的应用具有重要意义。


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